OPEN SYS系列全開放的掃描探針顯微測試加工平臺

開放式掃描探針顯微鏡

* 圖片僅供參考。根據用戶的具體需求，儀器的外觀可能會不同。

多功能開放式掃描探針顯微鏡(SPM)系統（簡稱“開放系統”）是本原在十多年的技術積累和經驗提煉的基礎上所推出的換代產品。開放系統使科學工作者能夠對儀器進行必要的監控或改造，以滿足自身科學研究的特殊需要。用戶既可以把它當作一臺檢測儀器，又可以把它當作進行非常規試驗和二次開發的實驗平臺。與國外或本原以往研制的產品相比，開放系統最顯著的特點就是其多功能性和開放性。

OpenSys系列掃描探針顯微鏡主要性能介紹

• 單一探頭的多功能平臺結構，集成掃描隧道(STM)、原子力(AFM)、摩擦力(LFM)和靜電力顯微鏡(EFM)功能，工作模式包括接觸、輕敲、相移成像等
• 獨特的探針類型和掃描器的編碼——解碼智能識別技術，全數字控制的參數設置和采集
• 數字控制反饋回路，16-bit分辨的A/D和D/A
• 采用單一的外觸發時基和高速緩存，實現多通道信號的高速同步采集
• 采用基于TCP/IP協議的高速通信接口，實現雙處理器——雙操作系統的協同工作和大容量高速數據交換，使系統具有極大的開放性
• 系統內部預留多個可供輸入/輸出信號的處理通道，具有方便的擴展能力
• 系統外部預留標準開放接口，滿足用戶對儀器進行二次開發的需求
• 具有I-V曲線和力曲線等測量分析功能
• 具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術
• 具備超媒體用戶界面的納米操縱工具
• 用戶控制端軟件兼容Windows 11/10/8/7Vista/XP/2000操作系統
• 分析處理軟件在數據類型識別方面采用固定編碼和動態編碼兩種技術，實現系統的開放性和可擴展性
• 掃描區域多種分辨率選擇及高度、對比度的實時調整，可連續采集、存儲和重現動態過程
• 實時定點測試功能
• 方便的鼠標控制掃描區域平移、剪切功能，掃描角度連續可調，多種樣品傾斜度實時校正功能
• 樣品粒度和粗糙自動分析功能

性能指標

• 分辨率： STM：橫向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定標） AFM：橫向 0.26nm 垂直 0.1nm （以云母定標）
• 電流檢測靈敏度：≤10pA
• 力檢測靈敏度： ≤1nN
• 空間定位精度： ≤0.5nm
• 預留輸出信號通道數：6ch （1ch±200V，5ch±10V，16-bit DAC）
• 預留輸入信號通道數：16ch （250kHz采樣率，16-bit ADC，帶可控低通濾波器和可控增益放大器）
• 預留頻率合成輸出： 2ch（振幅為0～2V；頻率為DC～1000kHz，32-bit分辨）

OpenSys 系列掃描探針顯微鏡標配

• 集成STM、AFM和LFM等多種模式的掃描探頭
• 在線控制/后處理軟件
• 主流配置微機，預裝Windows操作系統
• 1μm × 1μm Scanner
• 20μm × 20μm Scanner
• 50μm × 50μm Scanner（選配）
• 70μm × 70μm Scanner（選配）
• 100μm×100μm Scanner（選配）
• 光學輔助顯微系統（選配）
• 可附加第二、三顯示器（選配）